一种用于压力传感器的温度控制系统设计
2011/7/9 17:06:00
在微电子器件领域 ,针对 SiC 器件的研究较多 ,已经取得了较大进展 ,而在 MEMS 领域针对 SiC 器件的研究仍有许多问题亟待解决。在国内 , SiC MEMS 的研究非常少 ,因而进行 SiC 高温 MEMS 压力传感器的研究具有开创意义。
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